为何能够成为全球前20名,是因为上海微电子这几年发展迅速,虽然技术与ASML有一定的差距,但也在慢慢的追上来了,目前已经达到了干式DUV的水平,也就是ArF的水平。
虽然在前道光刻机上有差距,但上海微电子在后道光刻机这一块,是非常强的,后道光刻机也就是封装光刻机,相对而言,对分辨率工艺要求没有那么的高,每年出货量几百台。
并且后道光刻机方面,已被国内众多的封测企业***用,大批量的订购,所以上海微电子能够杀进全球前20名。
按照媒体的说法,目前上海微电子的光刻机,离浸润式光刻机,已经只有一步之遥了,因为干式DUV,与浸润式DUV,光源相同,工作台也相同,差的只是一套浸润式系统,这套系统就是在工作台前,有一层水为介质。
目前国内很快就会突破这一技术,而一旦进入浸润式光刻机领域,那么国产光刻机,将全面崛起,不必看ASML的脸色了,因为浸润式光刻机,也是能够支持到5nm,甚至3nm芯片的。返回搜狐,查看更多